Détermination des paramètres COM (Or/LiNbO3 YX 128°) pour la conception des capteurs SAW

Archive ouverte : Communication dans un congrès

ALHOUSSEINI, Hassan | Smagin, Nikolay | Duquennoy, Marc | Ouaftouh, Mohammadi | Jenot, Frédéric

Edité par HAL CCSD

International audience. La théorie du couplage des modes (COM) prend en compte les réflexions multiples et l’interaction acoustoélectrique entre les ondes acoustiques de surface (SAW) et le réseau des electrodes métalliques. Ceci offre la possibilité de réaliser des modélisations d’une grande variété de dispositifs SAW. Le travail présenté fait partie d’un projet de développement de capteurs de pression à base des SAW pour des environnements sévères. Selon la configuration des transducteurs interdigités (IDT) utilisée, ces capteurs seront soit montés en circuit (associé à un circulateur) soit sans fil et interrogés à distance. Pour cette raison une détermination précise de paramètres COM est nécessaire afin de prédire le comportement de la phase (montage en circuit) et la réflectivité des électrodes (capteurs sans fil). Les paramètres COM ont été calculés numériquement en utilisant le logiciel FEMSDA pour des électrodes en Or déposées sur un substrat de niobate de lithium (LiNbO3 YX 128°). Les résultats de ces calculs ont été validés expérimentalement en utilisant un résonateur SAW synchrone à une porte fonctionnant à 107 MHz. Par la résolution de problème inverse, il a été montré que les valeurs extraites expérimentalement se trouvent dans la gamme de 2 à 10% par rapport aux valeurs calculées. Ces paramètres ont permis de développer un modèle capable à prédire et d’optimiser le comportement de la ligne à retard fonctionnant à 107 MHz. La comparaison entre les modélisations COM de lignes à retard et les mesures montre une bonne adéquation ainsi que l’influence majeure du coefficient de réflectivité sur le comportement et le niveau des ondulations de la phase.

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